干式真空泵和湿式真空泵

点击次数:   更新时间:21/06/08 14:20:06     来源:www.bookhous.com关闭分    享:
  干式真空泵和湿式真空泵是现在真空泵市场中使用较为广泛的两种设备,但是有些不明白的用户在选择使用的过程中,并且不清楚这两种设备的使用区别,所以接下来就为其进行介绍。

  干式真空泵是一种在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;可使用在低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;因半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求;并且还用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

干式真空泵和湿式真空泵

  湿式真空泵又称油式真空泵,油式是通过循环油路进行润滑密封,达到更好的寿命及真空效果,减小摩擦力,优点:维修方便,配件便宜 缺点:需定期保养。
  以上就是有关干式真空泵和湿式真空泵这两种设备的使用区别,根据其使用要求,可更好的使用户了解设备使用,以便更好的进行选择。

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